ウェハー加工・マイクロ流路・ファクトリーオートメーション・生産受託の九州セミコンダクターKAW
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この記事の投稿日:2018年04月26日

スパッタ成膜 ウエハサイズ12inchが対応可能になりました。

この記事は2018年4月26日に公開されたものです。
現在は状況が異なる可能性がありますのでご注意ください。
最新の情報はこちらをクリックしてトップページからご確認をお願いいたします。

(株)九州セミコンダクターKAWのホームページをご覧いただき、ありがとう御座います。
これまでのスパッタ成膜における対応ウエハサイズはΦ3″,Φ4″,Φ6″,Φ8″でしたが、新しくΦ12″の対応が可能になりました。

●保有ターゲット:Ti,Cu,Cr,Ni(その他検討可能)
●対応ウエハサイズ:3inch,4inch,6inch,8inch,12inch(異形基板は要相談)

上記以外の金属、異形基板についてはお気軽にご相談ください。お客様のご要望に応えられるよう、今後とも新技術を導入して参ります。


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