ウエハー加工・生産受託・マイクロ流路・ファクトリーオートメーションの九州セミコンダクターKAW
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マイクロ流路・加工事例

SEM写真

PDMSパターン ピラー形状 φ20μm 40μmピッチ 高さ50μm

PDMSパターン ピラー形状
φ20μm 40μmピッチ 高さ50μm

PDMSパターン ウェル形状 φ20μm 40μmピッチ 深さ50μm

PDMSパターン ウェル形状
φ20μm 40μmピッチ 深さ50μm

PDMSパターン 累積蛇行流路 L/S : 20μm/20~410μm 高さ50μm

PDMSパターン 累積蛇行流路
L/S : 20μm/20~410μm 高さ50μm

     
PDMSパターン チャンバーとフィルター(1) L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

PDMSパターン チャンバーとフィルター(1)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

PDMSパターン チャンバーとフィルター(2) L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

PDMSパターン チャンバーとフィルター(2)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

PDMSパターン チャンバーとフィルター(3) L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

PDMSパターン チャンバーとフィルター(3)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

     
PDMSパターン スパイラル形状

PDMSパターン スパイラル形状

PDMSパターン 放射形状

PDMSパターン 放射形状

 

 

超微細流路

Si鋳型

Si鋳型

Si鋳型

Si鋳型

 
     
PDMS流路

PDMS流路

超微細ピラー・PDMSパターン

PDMSパターン

PDMSパターン

PDMSパターン

PDMSパターン

 

 

ハイアスペクト品 Si鋳型

マイクロパターン例(鋳型)100万個のピラーを配置/ホール径:φ10um ピラー高さ:60um

ハイアスペクト品・Si鋳型

ハイアスペクト品・Si鋳型

 

その他パターン形状

マイクロ LED 向けスタンプツールのパターン形状パターン形状については単一構造のみならず、3次元的な構造にも対応させて頂いますので、お気軽にご相談下さい。

 

 

 

PDMS 応用例(バイオ分野、接木チップ®)

弊社では微細加工技術(MEMS)を駆使し、バイオメディカルサイエンス様の販売の元、チップの製作も行っております。

微細加工技術(MEMS)を駆使したバイオ分野の接木チップ

微細加工技術(MEMS)を駆使したバイオ分野の接木チップ

微細加工技術(MEMS)を駆使したバイオ分野の接木チップ

商標登録 第6163144号 グランドグリーン株式会社様
特許第6270187号、特許第6755013号 名古屋大学様

【参考文献】
The Plant Journal, 103, 918-929 (2020).
DOI: 10.1111/tpj.14768

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