ウェハー加工・マイクロ流路・ファクトリーオートメーション・生産受託の九州セミコンダクターKAW

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ウェハー加工
ファクトリーオートメーション・ウェハー加工・マイクロ流路・生産受託の九州セミコンダクターKAW

測定（SEM／レーザー顕微鏡）

SEM（走査電子顕微鏡）

SEM（走査電子顕微鏡）  

装置名

SEM日立走査電子顕微鏡(S-3000N)

特　徴

微細加工品のSEM観察可能。
弊社にてウエハー加工を行った製品の形状などSEM観察後、簡単なレポートをお送りします。

 

レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡  

型　式

VK-X200

総合倍率

200ｘ ～ 24000ｘ

測定用レーザ光源

バイオレットレーザ 408nm

特　徴

408nmレーザーを用いて観察、計測を行い、6インチ、8インチウエハーの非破壊測定が可能。