観察・分析・測定（SEM／レーザー顕微鏡／膜厚測定装置）

SEM（走査電子顕微鏡）

微細加工品のSEM観察可能。 弊社にてウエハー加工を行った製品の形状などSEM観察後、簡単なレポートをお送りします。

 

レーザー顕微鏡

408nmレーザーを用いて観察、計測を行い、6インチ、8インチウエハーの非破壊測定が可能なレーザー顕微鏡です。

 

 

膜厚測定装置（ナノスペック）

レジストや絶縁膜等の膜厚を非破壊で測定可能です。測定可能ウエハーサイズは4、6、8インチです。