装置名
SEM日立走査電子顕微鏡(S-3000N)
特 徴
微細加工品のSEM観察可能。 弊社にてウエハー加工を行った製品の形状などSEM観察後、簡単なレポートをお送りします。
型 式
VK-X200
総合倍率
200x ~ 24000x
測定用レーザ光源
バイオレットレーザ 408nm
408nmレーザーを用いて観察、計測を行い、6インチ、8インチウエハーの非破壊測定が可能。