ウエハー加工・生産受託・マイクロ流路・ファクトリーオートメーションの九州セミコンダクターKAW
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観察・分析・測定(SEM/レーザー顕微鏡/膜厚測定装置)

SEM(走査電子顕微鏡)

微細加工品のSEM観察可能。 弊社にてウエハー加工を行った製品の形状などSEM観察後、簡単なレポートをお送りします。

走査電子顕微鏡「日立 S-3000N」

走査電子顕微鏡「日立 S-3000N」

 

レーザー顕微鏡

408nmレーザーを用いて観察、計測を行い、6インチ、8インチウエハーの非破壊測定が可能なレーザー顕微鏡です。

レーザー顕微鏡「VK-X200」

レーザー顕微鏡「VK-X200」

 

スペック

VK-X200

総合倍率:200x ~ 24000x
測定用レーザ光源:バイオレットレーザ 408nm

 

膜厚測定装置(ナノスペック)

レジストや絶縁膜等の膜厚を非破壊で測定可能です。測定可能ウエハーサイズは4、6、8インチです。

膜厚測定装置(ナノスペック)

膜厚測定装置(ナノスペック)

 

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