ウエハー加工・生産受託・マイクロ流路・ファクトリーオートメーションの九州セミコンダクターKAW
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ウェハー加工・加工事例

弊社でのウェハー加工・フォトリソグラフィやエッチングの加工事例です。(※社内評価での加工事例のため、加工形状を保証するものではございません。)

SiO2エッチングの加工事例

SiO2 LS 0.3um加工

SiO2 LS 0.3um加工

SiO2 LS 0.3um加工 断面形状

SiO2 LS 0.3um加工 断面形状

   
SiO2 LS 0.6um加工

SiO2 LS 0.6um加工

SiO2 LS 0.6um加工 断面形状

SiO2 LS 0.6um加工 断面形状

   
SiO2深堀り加工-1

SiO2深堀り加工-1

SiO2深堀り加工-1 断面形状

SiO2深堀り加工-1 断面形状

   
SiO2深堀り加工-2

SiO2深堀り加工-2

SiO2深堀り加工-2 断面形状

SiO2深堀り加工-2 断面形状

 

Siエッチングの加工事例

Siエッチング加工 櫛歯

Siエッチング加工 櫛歯

Siエッチング加工 櫛歯

Siエッチング加工 櫛歯

   
Siエッチング加工 ライン

Siエッチング加工 ライン

 
   
Siエッチング加工 ハニカム

Siエッチング加工 ハニカム

Siエッチング加工 ハニカム

Siエッチング加工 ハニカム

   
Siエッチング加工 深堀り断面形状

Siエッチング加工 深堀り断面形状

Siエッチング加工 深堀り断面形状

Siエッチング加工 深堀り断面形状

 

石英エッチングの加工事例

石英 LS 100um加工

石英 LS 100um加工

石英 LS 100um加工 側面形状

石英 LS 100um加工 側面形状

   
石英 LS 100um加工 断面形状

石英 LS 100um加工 断面形状

石英 LS 100um加工 深さ

石英 LS 100um加工 深さ

 

フォトリソの加工事例

リフトオフレジスト加工 断面形状

リフトオフレジスト加工 断面形状

フォトリソ加工例 LS 1μm

フォトリソ加工例 LS 1μm

   
フォトリソ加工例 ハニカム

フォトリソ加工例 ハニカム

フォトリソ加工例 ハニカム断面形状

フォトリソ加工例 ハニカム断面形状

 

お見積り・お問い合わせはこちらから
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