ウエハー加工・生産受託・マイクロ流路・ファクトリーオートメーションの九州セミコンダクターKAW
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保有機器

機器名

型 式

メーカー

ワイヤーボンディング装置

Maxum_Ultra、IConn

キューリック・アンド・ソファ・ジャパン(株)

プラズマ洗浄装置

SPC-100H

(株)日立ハイテクノロジーズ

X線透視検査装置

SMX-1000

(株)島津製作所

洗浄・乾燥装置

超音波純水洗浄機、乾燥保管庫

<洗>東邦化成(株)、<乾>ホシザキ(株)

真空撹拌脱泡機

ARE-500、ミニダッポー

(株)シンキー、(株)シーテック

オートコーターデベロッパー

LITHOTRAC Dual-1000T

リソテックジャパン(株)

MS-A200、AD-1200

ミカサ(株)

露光装置

NSR-i10C

(株)ニコン

PE-CVD成膜装置

P-5000

Applied Materials

CIH-130

(株)アルバック

ドライエッチング装置

RIE-10NR

サムコ(株)

金属スパッタリング装置

CFS-12P-100

芝浦メカトロニクス(株)

CFS-8EP-55

芝浦メカトロニクス(株)

スピンリンスドライヤー

SRD4300S

SEMITOOL

SRD-470S-1-1-E-ML

SEMITOOL

SPD160RN

エア・ブラウン(株)

エリプソメーター

L115C

GAERTNER SCIENTIFIC

ウェハー表面検査装置

WM-3

(株)トプコン

三次元測定機

Crysta-Plus M776

(株)ミツトヨ

テーピング装置

TTI-1500D
TT-165E
TT-160E

藤堂製作所

BGA 3D検査装置

CI-9250

ICOS

QFPリードスキャナ装置

LI-700HS

YASUNAGA

リール製品外観検査装置

TVS-505

藤堂製作所

DIP製品外観検査装置

MM-160

藤堂製作所

クリーンオーブン

PVHC-231
PVHC-212
PVH-231

エスペック(株)

レーザー顕微鏡

VK-X200

(株)キーエンス

SEM(走査電子顕微鏡)

JSM-IT700HR

日本電子(株)

膜厚測定装置

M6100A

ナノメトリクス

 

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