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これまでのスパッタ成膜における対応ウエハサイズはΦ3″,Φ4″,Φ6″,Φ8″でしたが、新しくΦ12″の対応が可能になりました。
●保有ターゲット：Ti,Cu,Cr,Ni(その他検討可能)
●対応ウエハサイズ：3inch,4inch,6inch,8inch,12inch(異形基板は要相談)
上記以外の金属、異形基板についてはお気軽にご相談ください。お客様のご要望に応えられるよう、今後とも新技術を導入して参ります。
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来る平成30年4月18日（水）～20日（金）の3日間、東京ビッグサイトで開催される「Medtec Japan 2018」に出展致します。
弊社、マイクロ流路並びにウェハー特殊加工に注力した内容となっております。
（出展ブース番号：東ホール4 #1608）
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来る平成30年１月17日(水)～19日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催される第47回ネプコン ジャパンに出展いたします。
今回は一般財団法人 九州産業技術センターのご支援により中国・九州地方の企業10社との合同出展と成り、ウエハー加工に焦点を当て出展します。
（出展ブース番号：東２ホールE11-4）
第47回ネプコンジャパンの情報は「こちら」から
九州セミコンダクターKAWの出展情報は「こちら」から
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来る2017年11月13日(月)～16日(木)の4日間、ドイツデュッセルドルフで開催されるMEDICA展に出展致します。
(出展ブース番号：Hall16 A31-5)
展示内容は、こちら
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来る平成29年6月28日(水)～30日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催されるBIO tech 2017 第16回バイオ・ライフサイエンス研究展に出展いたします。
（出展ブース番号：西3・4ホール微細加工ゾーン W23-66）
展示内容はこちら
