ウエハー加工・生産受託・マイクロ流路・ファクトリーオートメーションの九州セミコンダクターKAW
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プラズマ洗浄

プラズマ洗浄装置「SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ」

RIE方式 およびPE方式の2種類のプラズマ方式を採用しています。

プラズマ洗浄装置「SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ」

プラズマ洗浄装置「SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ」

 

スペック

SPC-100H

高周波電源=最大600Wまでの範囲で設定可能 / 処理エリアサイズ=300mm×300mmのワイド処理エリア / 使用ガス=「Ar」or「O2」にて洗浄可能

 

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