ウェハー加工・マイクロ流路・ファクトリーオートメーション・生産受託の九州セミコンダクターKAW

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生産受託
ファクトリーオートメーション・ウェハー加工・マイクロ流路・生産受託の九州セミコンダクターKAW

プラズマ洗浄

半導体事業・プラズマ洗浄工程

 

装置名

SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ

特 徴

RIE方式 およびPE方式の2種類のプラズマ方式を採用

スペック

高周波電源=最大600Wまでの範囲で設定可能/処理エリアサイズ=300mm×300mmのワイド処理エリア/使用ガス=「Ar」or「O2」にて洗浄可能