装置名
MD-V9600A
仕様・能力
YVO4レーザー波長:1064nm マーキングエリア:□90mm 印字分解能:2μm 印字サイズ:0.2mm~90mm 印字種類:KEYENCEオリジナル/TrueType/ロゴ/2次元コード等
特 徴
6インチ、8インチサイズでも、ウェハー外周部へのロット番号のマーキング可能