両面マスクアライナー装置を導入しました。
九州セミコンダクターKAWのホームページをご覧頂き、誠にありがとう御座います。
この度、弊社は両面マスクアライナー装置を新たに導入いたしました。

■対応基板材質
シリコン・ガラス・セラミック・サファイヤ
SiCなどの化合物・石英など
■対応基板サイズ
Φ8インチ以下、□125mm、□140mm
■基板厚み
2mm以下(四角基板は1.5mm以下)
■アライメント
通常の表面アライメントと裏面アライメント可能
■露光方式
1:1等倍露光
■マスクサイズ
最大□9インチ
■波長
365、436nm
試料の表面/裏面アライメントを、高解像度4視野カメラとモニタによる観察で行うことができます。
これにより更なる業務内容の充実、サービス向上に努めてまいります。
今後とも、九州セミコンダクターKAWを宜しくお願い申し上げます。







