半導体製品の製造・異形部品実装・検査(フォトリソ・MEMS・PDMS・CVD)生産受託の九州セミコンダクターKAW.

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半導体検査
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プラズマ洗浄

半導体事業・プラズマ洗浄工程

装置名

SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ

特 徴

RIE方式 およびPE方式の2種類のプラズマ方式を採用

スペック

高周波電源=最大600Wまでの範囲で設定可能/処理エリアサイズ=300mm×300mmのワイド処理エリア/使用ガス=「Ar」or「O2」にて洗浄可能


 

 

 

お客様の様々な試作のご要求にもお応えすることが可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。

保有機器の一例

■多軸ロボット
■三次元測定機
■レーザーマーカー