RIE方式 およびPE方式の2種類のプラズマ方式を採用しています。
プラズマ洗浄装置「SPC-100H 日立ハイテクノロジーズ」
スペック
高周波電源=最大600Wまでの範囲で設定可能 / 処理エリアサイズ=300mm×300mmのワイド処理エリア / 使用ガス=「Ar」or「O2」にて洗浄可能