半導体製品の製造・異形部品実装・検査(フォトリソ・MEMS・PDMS・CVD)生産受託の九州セミコンダクターKAW.

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マイクロ流路
半導体製品の製造・異形部品実装・検査(フォトリソ・MEMS・PDMS・CVD)生産受託の九州セミコンダクターKAW

マイクロ流路・加工事例

SEM写真

SEM・PDMSパターン ピラー形状   SEM・PDMSパターン ウェル形状

PDMSパターン ピラー形状
φ20μm 40μmピッチ 高さ50μm

 

PDMSパターン ウェル形状
φ20μm 40μmピッチ 深さ50μm

 

SEM・PDMSパターン 累積蛇行流路   SEM・PDMSパターン チャンバーとフィルター(1)

PDMSパターン 累積蛇行流路
L/S : 20μm/20~410μm 高さ50μm

 

PDMSパターン チャンバーとフィルター(1)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

 

SEM・PDMSパターン チャンバーとフィルター(2)   SEM・PDMSパターン チャンバーとフィルター(3)

PDMSパターン チャンバーとフィルター(2)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

 

PDMSパターン チャンバーとフィルター(3)
L/S : 50μm/50μm 高さ50μm

 

SEM・PDMSパターン スパイラル形状   SEM・PDMSパターン 放射形状

PDMSパターン スパイラル形状

 

PDMSパターン 放射形状

 

超微細流路

Si鋳型

   
Si鋳型   Si鋳型

 

PDMS流路

PDMS流路

 

超微細ピラー PDMS パターン

超微細ピラー PDMS  パターン   超微細ピラー PDMS  パターン

 

ハイアスペクト品 Si鋳型

ハイアスペクト品 Si鋳型

マイクロパターン例(鋳型)100万個のピラーを配置/ホール径:φ10um ピラー高さ:60um