半導体製品の製造・異形部品実装・検査(フォトリソ・MEMS・PDMS・CVD)生産受託の九州セミコンダクターKAW

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マイクロ流路
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マイクロ流路チップ カスタム

弊社PDMS製マイクロ流路の特徴

設計~生産まで一貫したサポートが可能

※弊社の得意とするリソグラフィー技術を活用したマイクロ流路の開発業務から、量産体制への移行もスムーズです。

分子接着技術での接合が可能

※PDMS製は簡便かつ短時間にマイクロ流路を作成することが可能で、短納期対応が可能です。


マイクロ流路加工事例

流路サンプル(1)

流路サンプル(2)

マイクロ流路サンプル マイクロ流路サンプル


Si鋳型

Si鋳型 Si鋳型


PDMS流路

PDMS流路


鋳型 全体図(Si鋳型:ネガレジストを用い基板上へパターン形成)

マイクロ流路チップ・鋳型 全体図

 

マイクロ流路加工サービス一覧

流路形状

流路幅: >1μm
流路深さ: <500μm

パターンサイズ

応相談

材 質

PDMS ※ご要望に応じてPDMS以外の材質によるチップ作製検討も可能です。

オプション内容

流路面接合(ガラス、プラスチック等)
アクセスホール穴あけ(各種)
チューブ接合(シリコーン、FEP等)

納 期

発注から約2週間

価 格

チップサイズやオプション内容によって異なりますので、まずはご要望をお聞かせ下さい。