半導体製品の製造・異形部品実装・検査(フォトリソ・MEMS・PDMS・CVD)生産受託の九州セミコンダクターKAW

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マイクロ流路
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マイクロ流路チップ オーダーメイド

弊社PDMS製マイクロ流路の特徴

設計~生産まで一貫したサポートが可能

※弊社の得意とするリソグラフィー技術を活かし、
マイクロ流路の開発段階から量産体制への移行もスムーズに行えます。

分子間接合技術での接合が可能分子接着技術での接合が可能

*弊社が主に使用している PDMS材は生体観察に影響が少なく、
短時間にマイクロ流路を作成することが可能で、短納期対応として優位です。

 

マイクロ流路加工能力

材質

PDMS ※ご要望に応じてPDMS以外の材質によるチップ作製検討も可能です。

パターンサイズ

応相談

流路サイズ

・流路幅: >1μm
・流路深さ: 3<500μm
・アスペクト比 5倍程度まで

オプション内容

・流路面接合(ガラス、プラスチック等)
・アクセスホール穴あけ(各種)
・チューブ接合(シリコーン、FEP等)

納 期

発注から約2週間

価 格

チップサイズやオプション内容によって異なりますので、まずはご要望をお聞かせ下さい。

 

マイクロ流路加工事例

流路サンプル(1)

流路サンプル(2)

マイクロ流路サンプル マイクロ流路サンプル


Si鋳型

Si鋳型 Si鋳型


PDMS流路

PDMS流路


鋳型 全体図(Si鋳型:ネガレジストを用い基板上へパターン形成)

マイクロ流路チップ・鋳型 全体図